| 出願番号 |
特願2021-533865 |
| 出願日 |
2020/6/17 |
| 出願人 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
WO2021/014835 |
| 公開日 |
2021/1/28 |
| 登録番号 |
特許第7212337号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 発明の名称 |
ガスセンサによる測定方法及び測定装置 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
ガスセンサによる測定方法、測定装置 |
| 目的 |
表面応力センサなどの、基準ガスと試料ガスとを複数サイクルに渡って交互に切り替えながら測定を行うガスセンサにおいて、試料ガス中に含まれる可能性のある水蒸気などの特定のガスの影響を排除または軽減する。 |
| 効果 |
従来の測定装置に最小限の追加・修正を行うだけで試料ガス中の水蒸気等の特定のガスの影響を大きく低減することができる。 |
技術概要
 |
基準ガスと測定対象である試料ガスとを切り替えながら測定を行うガスセンサによる測定方法において、
前記基準ガスと前記試料ガスの少なくとも一方は特定のガスを含む可能性があり、
前記ガスセンサ中のセンサ素子に供給される前記基準ガス中の前記特定のガスの濃度と前記試料ガス中の前記特定のガスの濃度とを平衡させる、
ガスセンサによる測定方法。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)