ＡｌＮテンプレート及びその製造方法

基本情報

出願番号	特願2021-028849
出願日	2021/2/25
出願人	国立大学法人山口大学
公開番号	特開2022-130762
公開日	2022/9/7
発明の名称	ＡｌＮテンプレート
技術分野	無機材料、金属材料、電気・電子
機能	機械・部品の製造
適用製品	ＡｌＮテンプレート及びその製造方法
目的	表面の転位密度の低いＡｌＮテンプレートを提供する。
効果	支持基板の上に形成されたバッファ層の表面に、多数のピットが形成されていることにより、その上に連続して形成されるＡｌＮ層では、低転位化が図られることとなり、その結果、転位密度の低い表面を得ることができる。
技術概要	支持基板と、前記支持基板の上にＡｌＮが結晶成長して形成されたバッファ層と、前記バッファ層上に連続してＡｌＮが結晶成長して形成されたＡｌＮ層と、を備えたＡｌＮテンプレートであって、前記バッファ層の前記ＡｌＮ層側の表面には、ピット密度が１×１０８ｃｍ－２以上の多数のピットが形成されているＡｌＮテンプレート。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	有限会社山口ティー・エル・オー