電子銃および電子機器
- 開放特許情報番号
- L2023000508
- 開放特許情報登録日
- 2023/5/26
- 最新更新日
- 2023/5/26
基本情報
| 出願番号 | 特願2019-226978 |
|---|---|
| 出願日 | 2019/12/17 |
| 出願人 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2021/6/24 |
| 発明の名称 | 電子銃および電子機器 |
| 技術分野 | 電気・電子 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 電子銃および電子機器 |
| 目的 | 真空を破ることなく電子ビームの照射位置を調整するナノワイヤエミッタを備えた電子銃およびそれを用いた電子機器を提供する。 |
| 効果 | エミッタ設置後であっても、真空を破ることなく、電子ビームの微妙な照射位置を調整でき、ナノワイヤエミッタの表面を清浄に維持できる。 |
技術概要) |
電子ビームを端部より発するナノワイヤエミッタと、
第１の球冠状のシェルと第２の球冠状のシェルとを備えるステージであって、前記第１の球冠状のシェルが前記ステージに固定されており、前記第２の球冠状のシェルが前記固定された第１の球冠状のシェルに対して摺動するよう重ねられており、前記重ねられた第１の球冠状のシェルと第２の球冠状のシェルの凹面側および凸面側は、それぞれ、真空および大気に晒され、前記ナノワイヤエミッタは、前記端部が前記凹面側になるように前記ステージに取り付けられる、ステージと、 真空と大気とを仕切り、伸縮部を介して前記ステージを保持するハウジングと を備える、電子銃。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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