磁気センサー

基本情報

出願番号	特願2020-011503
出願日	2020/1/28
出願人	国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号	特開2021-118287
公開日	2021/8/10
発明の名称	磁気センサー
技術分野	電気・電子、情報・通信、無機材料
機能	機械・部品の製造
適用製品	磁気センサー
目的	小型で、高温下でも安定に動作する磁気センサーを提供する。
効果	小型で、高温下でも安定に動作する磁気センサーが提供される。
技術概要	単結晶ダイヤモンド層上に支持部を介して梁が形成されており、前記梁は、単結晶のダイヤモンド板と、磁気感応層を含んで形成されており、前記磁気感応層は、Ｆｅ↓ｘＧａ↓（１－ｘ）（ｘは０．７以上０．９以下）またはＦｅ↓ｙＧａ↓（１－ｙ－ｚ）Ｂ↓ｚ（ｙは０．５以上０．８５以下、ｚは０．０５以上０．２以下）からなる、磁気センサー。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立研究開発法人物質・材料研究機構