金属酸化物薄膜還元検知センサ

基本情報

出願番号	特願2020-062404
出願日	2020/3/31
出願人	国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
公開番号	特開2021-162404
公開日	2021/10/11
登録番号	特許第7648118号
特許権者	国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
発明の名称	金属酸化物薄膜還元検知センサ
技術分野	情報・通信
機能	機械・部品の製造、検査・検出
適用製品	電極間の電気抵抗変化から検知するセンサ
目的	四酸化三鉄などの金属酸化物の皮膜の状態を簡便に評価・モニターするためのセンサを提供する。
効果	環境中の金属酸化物の状態を簡便に検知することができる。シンプルな構造であり、耐熱性に優れるので、室温から高温まで幅広い温度範囲で使用可能であり、耐放射線性も高い。
技術概要	金属酸化物薄膜と、該薄膜上に設置された電極対を含むセンサであって、電極間に電流を流し、該薄膜上の環境変化に基づく金属酸化物薄膜の還元による電極間の電気抵抗変化を検知することを特徴とする、センサ。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立研究開発法人日本原子力研究開発機構