偏光制御素子、近接場光源、および並列電子線装置

開放特許情報番号
L2023000395
開放特許情報登録日
2023/5/1
最新更新日
2023/5/1

基本情報

出願番号 特願2014-522693
出願日 2013/6/27
出願人 国立大学法人東京農工大学
公開番号 WO2014/003146
公開日 2014/1/3
登録番号 特許第6168664号
特許権者 国立大学法人東京農工大学
発明の名称 偏光制御素子、近接場光源、および並列電子線装置
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 偏光制御素子、近接場光源、および並列電子線装置
目的 可視域全体および一部近紫外域を含む広い波長範囲に利用可能で、薄型であり、微細化・並列化(アレイ化)が可能な偏光制御素子、該偏光制御素子を用いた近接場光源、および並列電子線装置を提供する。
効果 可視域全体および一部近紫外域を含む広い波長範囲に利用可能で、薄型であり、微細化・並列化(アレイ化)が可能な偏光制御素子、該偏光制御素子を用いた近接場光源、および並列電子線装置を提供することができる。
技術概要
先端を先鋭化した金属探針を、各々の先端が同一または略同一の面上となるようにアレイ状に複数配置した金属探針アレイと、
前記金属探針アレイに対して前記金属探針の先端とは反対側に、光の入射面が前記金属探針の先端が配置された面と平行または略平行に配置された、透光性を有する基板、および前記基板上の放射状に分割された複数の分割領域の各々に設けられた、前記複数の分割領域ごとに方向を異ならせ、かつ間にスリットを有するように延伸されるとともに、前記複数の分割領域の1つの延伸方向を基準とした場合に、隣接する分割領域の延伸方向の前記基準の延伸方向とのなす角度が、周方向に増加、または減少する方向とされている複数の金属を含んで構成された複数の波長板を含む偏光変換部を前記基板上に複数備えた偏光制御素子と、
前記偏光制御素子を介して、前記金属探針アレイの各々の金属探針の先端に光を照射する光源と、
を含む近接場光源アレイ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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