| 出願番号 |
特願2020-120958 |
| 出願日 |
2020/7/14 |
| 出願人 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
特開2022-018023 |
| 公開日 |
2022/1/26 |
| 登録番号 |
特許第7430908号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 発明の名称 |
水素透過検出のための試料及びその製造方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
水素透過検出のための試料及びその製造方法 |
| 目的 |
確実にチャージアップの発生を抑止することができるようにした水素透過検出のための試料及びその製造方法を提供する。 |
| 効果 |
確実にチャージアップの発生を抑止することができるようにした水素透過検出のための試料及びその製造方法を提供することができる。 |
技術概要
 |
板状の試料の背面から透過した水素原子あるいは当該試料の材料内部から湧出した水素原子を、走査型電子顕微鏡の走査電子により電子遷移誘起で励起させて水素イオンを脱離させ、該脱離した水素イオンのＥＳＤ像を、前記走査型電子顕微鏡の電子線の走査に同期して取得する、水素透過検出のための試料であって、
表面領域に局所的に配設された絶縁領域を備えた試料本体と、
前記試料本体の絶縁領域を含む表面全体に亘って配設された水素透過性を備えた導電性薄膜と、
を備える、水素透過検出のための試料。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)