| 出願番号 |
特願2020-141679 |
| 出願日 |
2020/8/25 |
| 出願人 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
特開2022-037504 |
| 公開日 |
2022/3/9 |
| 発明の名称 |
酸化モリブデンの成膜方法およびそのための装置 |
| 技術分野 |
無機材料、電気・電子 |
| 機能 |
材料・素材の製造、機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
酸化モリブデンの成膜方法およびそのための装置 |
| 目的 |
原料の安全性が高く、原料のコストが低くてコストの面で優れる酸化モリブデンの成膜方法、および装置としても簡便でコストの低い製造装置を提供する。 |
| 効果 |
原料の安全性が高く、原料のコストが低くてコストの面で優れる酸化モリブデン成膜方法、および装置としても簡便でコストの低い製造装置が提供される。 |
技術概要
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酸素を含むガスを供給しながらモリブデンからなるブロックを第１の温度Ｔ１で加熱して前記ブロックの表面に酸化モリブデン層を形成することと、
前記酸化モリブデン層から三酸化モリブデン（ＭｏＯ↓３）を昇華させ、専用配管を介して、不活性ガスとともに前記ＭｏＯ３のガスを基板に供給することと、
前記ＭｏＯ↓３のガスの前記基板への供給時に前記基板を第２の温度Ｔ２で加熱することと、
前記ＭｏＯ↓３のガスおよび前記不活性ガスを排気すること、を含む酸化モリブデンの成膜方法。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)