電子顕微鏡用の試料保持用積層体及び電子顕微鏡用の積層体収容ユニット
- 開放特許情報番号
- L2023000275
- 開放特許情報登録日
- 2023/4/17
- 最新更新日
- 2023/4/17
基本情報
| 出願番号 | 特願2020-176414 |
|---|---|
| 出願日 | 2020/10/21 |
| 出願人 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2022/5/9 |
| 発明の名称 | 電子顕微鏡用の試料保持用積層体及び電子顕微鏡用の積層体収容ユニット |
| 技術分野 | 電気・電子 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 電子顕微鏡用の試料保持用積層体 |
| 目的 | ＬＣ−Ｓ／ＴＥＭ画像品質の改善をもたらす電子顕微鏡用の試料保持用積層体及び電子顕微鏡用の積層体収容ユニットを提供する。 |
| 効果 | 液体サンプルを観察するために、走査／透過型電子顕微鏡（Ｓ／ＴＥＭ）に装着した場合の真空状態に起因する、一対のＳｉチップの積層体における対向するＳｉＮｘ膜の膨らみを軽減できるため、ＬＣ−Ｓ／ＴＥＭ画像の解像度とコントラストが向上する。
上述の電子顕微鏡用の試料保持用積層体をＳ／ＴＥＭ用の試料ホルダーのホルダー先端に収容するのに好適である。 |
技術概要) |
走査／透過型電子顕微鏡用の試料ホルダーのホルダー先端に撮像対象サンプルを収容するための試料保持用積層体であって、
前記撮像対象サンプルを収容するための試料保持上部デバイスと試料保持下部デバイスを備え、 前記試料保持上部デバイスに設けられた上部電子透過性膜窓と、 前記試料保持下部デバイスに設けられた下部電子透過性膜窓と、 前記試料保持上部デバイスの対向面と前記試料保持下部デバイスの対向面との間に設けられた間隙保持用のスペーサと、 前記試料保持上部デバイスの対向面と前記試料保持下部デバイスの対向面とを取り付けて形成されたサンプル保持空間を有し、 前記上部電子透過性膜窓と前記下部電子透過性膜窓は、前記走査／透過型電子顕微鏡の電子銃から撮像用検出器に向かう電子線が通過するように、全体的または部分的に重なるように整列されており、 前記サンプル保持空間に収容された撮像対象サンプルを、前記走査／透過型電子顕微鏡の電子銃から撮像用検出器に向かう電子線が透過して、前記撮像対象サンプルの走査／透過型電子顕微鏡像を撮像するのに用いられる試料保持用積層体。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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