熱流束計測センサ、熱流束計測装置および熱流束計測センサの製造方法

開放特許情報番号
L2023000151
開放特許情報登録日
2023/3/9
最新更新日
2023/3/9

基本情報

出願番号 特願2021-048777
出願日 2021/3/23
出願人 国立大学法人九州工業大学
公開番号 特開2022-147508
公開日 2022/10/6
発明の名称 熱流束計測センサ、熱流束計測装置および熱流束計測センサの製造方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 熱流束計測センサ、熱流束計測装置および熱流束計測センサの製造方法
目的 被測定物の局所的な現象を、高精度に、かつ高時空間分解能で検出することができる熱流束センサや熱流束計測装置を提供する。
効果 スケールに応じた被測定物の局所的な現象を検出することができ、被測定物の局所的な現象を、高精度に、かつ高時空間分解能で検出することができる。
他の領域に比べて熱流束が急激に高くなる三相界線領域の計測(検出)を高精度に、かつ高時空間分解能で検出することができる。
技術概要
基板上に設けられる第一抵抗と、前記基板上に塗布される低熱伝導率材料とにより形成された第一絶縁層と、
前記第一絶縁層上に設けられる第二抵抗と、前記第一絶縁層上に形成された第二絶縁層と、
を含み、
前記第一抵抗および前記第二抵抗は、線幅が10μm以下である熱流束センサ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2022 INPIT