超音波センサ

基本情報

出願番号	特願2020-041118
出願日	2020/3/10
出願人	地方独立行政法人大阪産業技術研究所
公開番号	特開2021-144987
公開日	2021/9/24
発明の名称	超音波センサ
技術分野	電気・電子、情報・通信
機能	機械・部品の製造
適用製品	超音波センサ
目的	共振周波数の低下を抑えつつ検出感度とＳＮ比を向上できる安価な超音波センサを提供する。
効果	共振周波数の低下を抑えつつ検出感度とＳＮ比を向上できる安価な超音波センサを実現することができる。
技術概要	第１電極と、上記第１電極のうちの少なくともダイヤフラムとなる領域上に形成された圧電体膜と、上記圧電体膜上かつ上記ダイヤフラムとなる領域上に形成された第２電極とを備え、上記第１電極の融点が上記圧電体膜の圧電性が発現する温度よりも高いと共に、上記第１電極の密度が上記第２電極の密度よりも小さいことを特徴とする超音波センサ。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【可】
特許権実施許諾	【可】

アピール内容	本発明の薄膜型の超音波センサを用いたアレイセンサを使えば、高速測定が可能な非破壊検査装置が開発できます。

登録者名称	地方独立行政法人大阪産業技術研究所