電界電離型ガスイオン源のエミッタおよびこれを備えた集束イオンビーム装置ならびに電界電離型ガスイオン源のエミッタの製造方法
- 開放特許情報番号
- L2022002117
- 開放特許情報登録日
- 2023/1/5
- 最新更新日
- 2023/1/5
基本情報
| 出願番号 | 特願2010-109279 |
|---|---|
| 出願日 | 2010/5/11 |
| 出願人 | 国立大学法人三重大学 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2011/11/24 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 国立大学法人三重大学 |
| 発明の名称 | 電界電離型ガスイオン源のエミッタおよびこれを備えた集束イオンビーム装置ならびに電界電離型ガスイオン源のエミッタの製造方法 |
| 技術分野 | 電気・電子 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 集束インビーム装置 |
| 目的 | 大きな放出イオン電流が得られる電界電離型ガスイオン源のエミッタおよびこれを備えた集束イオンビーム装置を提供するとともに、大きな放出イオン電流が得られる電界電離型ガスイオン源のエミッタを再現性よく製造することができる電界電離型ガスイオン源のエミッタの製造方法を提供する。 |
| 効果 | 大きな放出イオン電流が得られる電界電離型ガスイオン源のエミッタおよびこれを備えた集束イオンビーム装置とすることができるとともに、大きな放出イオン電流が得られる電界電離型ガスイオン源のエミッタを再現性よく製造することが可能になる。 |
技術概要) |
供給されたガスを電界電離させてイオンビームを放出する電界電離型ガスイオン源に含まれるエミッタであって、
円柱状または円錐台状の基部と、 前記基部の軸方向における一端に位置する先細り形状の先端部とを備え、 前記先端部は、前記基部の軸方向に沿って外側に向けて突出して位置する微小突起部を含み、 前記基部と前記先端部との境界面の直径をｒとし、前記軸方向に沿った前記境界面と前記微小突起部の先端との間の距離をｄとした場合に、これらｒおよびｄが、ｄ／ｒ≦１／１０の条件を充足している、電界電離型ガスイオン源のエミッタ。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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