濃度検出装置と濃度検出方法

開放特許情報番号
L2022002019
開放特許情報登録日
2022/12/16
最新更新日
2022/12/16

基本情報

出願番号 特願2020-084238
出願日 2020/5/13
出願人 国立研究開発法人理化学研究所
公開番号 特開2021-179345
公開日 2021/11/18
発明の名称 濃度検出装置と濃度検出方法
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出、機械・部品の製造
適用製品 検査対象物内に存在する対象成分の濃度を求める技術
目的 検査対象物内の各深さ又は所望の特定深さにおける対象成分の濃度を非破壊的に求めることができる装置と方法を提供する。
効果 各深さ又は所望の特定深さにおける対象成分の濃度を非破壊的に求めることができる。
技術概要
検査対象物の表面へ中性子線を照射する中性子源と、
前記検査対象物において前記中性子線により発生したガンマ線のうち対象成分に由来の特定ガンマ線を検出して、該特定ガンマ線の検出量を求めるガンマ線検出装置と、
前記検出量に基づいて、検査対象物における各深さ又は特定深さの対象成分の濃度を求める濃度算出装置と、を備え、
検査対象物を仮想的に複数の層に区分した場合に、前記複数の層における対象成分の複数の濃度と前記検出量との関係を表す関係式が、特定ガンマ線の種類毎に又は検出条件毎に予め定められて前記濃度算出装置に保持されており、
前記濃度算出装置は、各前記種類又は各前記検出条件に対してガンマ線検出装置が求めた前記検出量を、当該種類又は検出条件に対応する前記関係式に適用することにより連立方程式を生成し、該連立方程式を解くことにより、各深さ又は特定深さにおける前記層の前記濃度を算出する、濃度検出装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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