出願番号 |
特願2020-124905 |
出願日 |
2020/7/22 |
出願人 |
国立研究開発法人理化学研究所 |
公開番号 |
特開2022-021390 |
公開日 |
2022/2/3 |
発明の名称 |
分析システム、情報処理装置、分析方法及びプログラム |
技術分野 |
情報・通信 |
機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア |
適用製品 |
分析システム、情報処理装置、分析方法及びプログラム |
目的 |
試料の結晶内部の3次元的な性質を効率的に可視化することが可能な分析システム、情報処理装置、分析方法及びプログラムを提供する。 |
効果 |
試料の結晶内部の3次元的な性質を効率的に可視化することが可能な分析システム、情報処理装置、分析方法及びプログラムを提供できる。 |
技術概要
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試料の第1の面に沿ってレーザ光を走査して前記レーザ光を前記第1の面の側から前記試料に入射させ、前記試料から出射したテラヘルツ波を検出する分析装置と、
前記テラヘルツ波の観測された振幅の時間的な推移を示す観測データを取得する取得部と、
取得された前記観測データに対して統計的データ解析を行うことによって、前記試料の、前記レーザ光の入射方向に沿った方向である深さ方向の複数の深さ位置それぞれにおける、前記レーザ光を走査した位置に対応する照射位置に関するドメインの分布を推定する分析部と、
を有する分析システム。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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