走査型イオンコンダクタンス顕微鏡

開放特許情報番号
L2022001721
開放特許情報登録日
2022/10/28
最新更新日
2022/10/28

基本情報

出願番号 特願2020-137405
出願日 2020/8/17
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 特開2022-033486
公開日 2022/3/2
発明の名称 走査型イオンコンダクタンス顕微鏡
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 走査型イオンコンダクタンス顕微鏡
目的 走査速度の高速化を図った走査型イオンコンダクタンス顕微鏡の提供。
効果 プローブの先端部を試料表面に対して垂直方向のZ方向制御手段として、退避モード,ホッピングモード及びトレースモードにそれぞれ対応させた3つのアクチュエータを設けたので、連続的な計測走査の高速化を図ることができる。
技術概要
試料を保持する試料ステージと、
プローブを保持するプローブ保持手段とを備え、
前記試料の表面と前記プローブの先端部との相対的な水平方向の位置を制御するXY方向制御手段と、
前記試料の表面と前記プローブの先端部との垂直方向の距離を制御するZ方向制御手段とを有し、
前記Z方向制御手段はプローブの先端部を試料表面に対して退避制御するための退避モードアクチュエータと、
プローブの先端部を試料表面に対してホッピング動作するためのホッピングモードアクチュエータと、
プローブの先端部を試料表面に対してトレース動作するためのトレースアクチュエータとを有することを特徴とする走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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