斜入射干渉計
- 開放特許情報番号
- L2022001554
- 開放特許情報登録日
- 2022/10/12
- 最新更新日
- 2022/10/12
基本情報
| 出願番号 | 特願2007-141556 |
|---|---|
| 出願日 | 2007/5/29 |
| 出願人 | 株式会社ミツトヨ |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2008/2/14 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 株式会社ミツトヨ |
| 発明の名称 | 斜入射干渉計 |
| 技術分野 | 情報・通信 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 測定対象物の形状を測定する斜入射干渉計 |
| 目的 | 斜入射干渉計の高精度化と、加えて、高速化されることによって加工現場といった振動が存在するような環境下でも測定可能な斜入射干渉計を安価に提供する。 |
| 効果 | 斜入射干渉計の高精度化、高速化が図られ、また、加工現場といった振動が存在する環境下でも測定対象となる加工品形状を測定可能なものとし、さらには、安価な斜入射干渉計を提供することが可能となる。 |
技術概要) |
光源と、
光束分割合成部と、 合成光を複数の分割光に分割する光束分割部と、 複数の干渉縞画像をそれぞれ撮像する複数の撮像部と、 光束分割部の入射側及び出射側のいずれか一方に設けられた１／４波長板と、 互いの偏光軸を異ならせて配置された複数の偏光板と、 測定対象物の表面形状を算出する演算部と を備え、 光束分割合成部は、 光源からの光を偏光面の直交する２つの光線に分割し、光軸が異なりかつ所定の径を有するコリメートされた２つの光束を生成する手段と、 ２つの光束の一方を透過させ他方を反射させることにより、測定光と測定の基準となる参照光とに分割すると共に、測定光と参照光とを合成して合成光とする三角プリズムと、 合成光を透過させ２つの光束の一方で三角プリズムを反射したノイズ光及び２つの光束の他方で三角プリズムを透過したノイズ光を遮断する空間フィルタ部と、 を備えることを特徴とする斜入射干渉計。 |
| 実施実績 | 【試作】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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