斜入射干渉計

開放特許情報番号
L2022001553
開放特許情報登録日
2022/10/12
最新更新日
2022/10/12

基本情報

出願番号 特願2008-186967
出願日 2008/7/18
出願人 株式会社ミツトヨ
公開番号 特開2010-025732
公開日 2010/2/4
登録番号 特許第5361268号
特許権者 株式会社ミツトヨ
発明の名称 斜入射干渉計
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 斜入射干渉計
目的 装置を大型化することなく測定範囲をその短軸方向にも拡大できる斜入射干渉計を提供する。
効果 測定範囲拡大手段を備えることにより測定対象物上の光の測定範囲を当該測定範囲の短軸方向にも拡大させることができるため、装置を大型化することなく測定範囲を拡大することができる。
技術概要
測定対象物に対して斜め方向から可干渉光を照射する光源と、
光源からの可干渉光を平行光にする平行光化部と、
平行光化部からの平行光を測定光と参照光とに分割する光束分割部と、
測定対象物で反射された測定光と参照光とを合成する光束合成部と、
測定対象物の表面形状を表す干渉縞を撮像する撮像部と、を備えた斜入射干渉計において、
測定対象物における光の測定範囲を、測定範囲の短軸方向に拡大させる測定範囲拡大手段を備え、
測定範囲拡大手段は、
平行光化部と光束分割部との間に配置され、光源からの可干渉光を透過させて可干渉光の進行方向を平行移動させる光路シフト部材と、
光路シフト部材を回動させる駆動部と、
光路シフト部材を連続的に回動駆動させることにより、測定対象物上の照射領域を照射領域の短軸方向に連続的に平行移動させ、連続的に平行移動する照射領域の干渉縞を撮像部により光路シフト部材の移動周期よりも長い時間積分受光させる制御手段と、
を備え、
制御手段は、平行移動開始前の照射領域と、最大距離平行移動した後の照
射領域とで重複する領域ができるよう、照射領域の短軸方向の平行移動量を制御することを特徴とする斜入射干渉計。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社ミツトヨ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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