形状測定装置および形状測定装置の校正方法
- 開放特許情報番号
- L2022001552
- 開放特許情報登録日
- 2022/10/12
- 最新更新日
- 2022/10/12
基本情報
| 出願番号 | 特願2008-201045 |
|---|---|
| 出願日 | 2008/8/4 |
| 出願人 | 株式会社ミツトヨ |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2010/2/18 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 株式会社ミツトヨ |
| 発明の名称 | 形状測定装置および形状測定装置の校正方法 |
| 技術分野 | 情報・通信 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 形状測定装置および形状測定装置の校正方法 |
| 目的 | 高価な装置を用いずに、干渉縞のバイアス、振幅および位相の情報を校正することが可能で、かつ、ユーザが使用環境において容易に校正でき、測定精度を向上させることができる形状測定装置、および、形状測定装置の校正方法を提供する。 |
| 効果 | 高価な装置を用いずに、干渉縞のバイアス、振幅および位相の情報を校正することが可能で、かつ、ユーザが使用環境において容易に校正でき、測定精度を向上させることができる。 |
技術概要) |
測定対象物を照射する光を発するとともに、参照光となる光源と、
試料光および参照光を重ね合わせて測定光とする合成部と、 測定光を複数に分割して分割測定光とする測定光分割部と、 分割測定光の光軸上に設けられ、分割測定光に異なる位相差を付与して干渉縞を発生させる偏光部と、 分割測定光ごとに干渉縞を撮像する複数の撮像部と、 撮像された複数の干渉縞に基づき、撮像部ごとに予め校正された干渉縞のバイアス、振幅および位相の各情報を用いて、測定対象物の形状を測定する測定制御部と、を備える形状測定装置で、 光源は、発する光の波長を変えられる波長可変光源で、 測定制御部は、 光源からの光の波長を変化させる光源制御部と、 バイアス、振幅および位相の各情報を校正する校正用制御部と、 測定対象物の形状情報を解析する解析部と、を有して構成され、 形状測定装置は、参照光の光路長と試料光の光路長との光路差（Δｌ）を調整可能な光路差調整機構を備え、 光路差（Δｌ）は、光源の波長（λ）を変化量（Δλ）だけ変化させた際の干渉縞の位相シフト量（２π／λ↑２×ΔｌΔλ）が２π以上となるように、設定されていることを特徴とする形状測定装置。 |
| 実施実績 | 【試作】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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