斜入射干渉計における測定感度の校正方法

開放特許情報番号
L2022001551
開放特許情報登録日
2022/10/12
最新更新日
2022/10/12

基本情報

出願番号 特願2008-285283
出願日 2008/11/6
出願人 株式会社ミツトヨ
公開番号 特開2010-112819
公開日 2010/5/20
登録番号 特許第5208681号
特許権者 株式会社ミツトヨ
発明の名称 斜入射干渉計における測定感度の校正方法
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出
適用製品 斜入射干渉計における測定感度の校正方法
目的 使用者が使用環境下で簡便に実施できる斜入射干渉計における測定感度の校正方法を提供する。
効果 斜入射干渉計において、使用者が使用環境下で簡便に測定感度の校正を実施することができる。
技術概要
測定光と、干渉縞像に基づき、対象物面の形状を測定する斜入射干渉計における測定感度の校正方法で、
照射光を任意の第1入射角度で照射して生じる第1干渉縞像を取得し、
第1干渉縞像中の2点の各位相(φ1A,φ1B)を第1干渉縞像に基づいて算出するとともに、位相の差である第1位相差(Δφ1)を算出し、
入射角度を任意の第2入射角度まで変化させ、第1から第2までの入射角度の変化量(σ)を取得し、
照射光を第2入射角度で照射して生じる第2干渉縞像を取得し、
第1干渉縞像中の2点と一致する第2干渉縞像中の2点の位相(φ2A,φ2B)を第2干渉縞像に基づいて算出するとともに、位相の差である第2位相差(Δφ2)を算出し、
第1位相差(Δφ1)と第2位相差(Δφ2)との差異である位相差の差分(ΔΦ)を算出し、
2点に対応する対象物面上の2点の高低差について、入射角度の変化前後の差異である高低差の変化量(ΔH)を、2点間の距離(L)および入射角度の変化量(σ)に基づいて算出し、
高低差の変化量(ΔH)を位相差の差分(ΔΦ)で除して得られる算出値によ
り測定感度を校正することを特徴とする斜入射干渉計における測定感度の校正方法。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社ミツトヨ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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