斜入射干渉計
- 開放特許情報番号
- L2022001550
- 開放特許情報登録日
- 2022/10/12
- 最新更新日
- 2022/10/12
基本情報
| 出願番号 | 特願2009-182265 |
|---|---|
| 出願日 | 2009/8/5 |
| 出願人 | 株式会社ミツトヨ |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2011/2/17 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 株式会社ミツトヨ |
| 発明の名称 | 斜入射干渉計 |
| 技術分野 | 情報・通信 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 斜入射干渉計 |
| 目的 | 特殊な構成とすることなく、光源部から出射される光の波面の歪みが測定精度に影響を与えることを防止できるとともに、利便性を良好にできる斜入射干渉計
を提供する。 |
| 効果 | 特殊な構成とすることなく、光源部から出射される光の波面の歪みが測定精度に影響を与えることを防止できるとともに、利便性を良好にできる。 |
技術概要) |
光源部と、
前記光源部からの光を、被測定面に対して出射する測定光と測定基準となる参照光とに分割し、前記測定光を前記被測定面に対して斜めに出射する光分割部と、 前記参照光および前記被測定面にて反射した前記測定光を合成して合成光とする光合成部と、 前記合成光により形成される干渉縞に基づいて前記被測定面の形状を検出する検出部とを備え、 前記光分割部は、前記参照光が直接前記光合成部に至る姿勢で前記参照光を出射し、 前記光分割部から前記光合成部に至る前記参照光の光路中には、前記参照光の波面の向きを反転させる像反転部が設けられている ことを特徴とする斜入射干渉計。 |
| 実施実績 | 【試作】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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