斜入射干渉計

開放特許情報番号
L2022001549
開放特許情報登録日
2022/10/12
最新更新日
2022/10/12

基本情報

出願番号 特願2009-269482
出願日 2009/11/27
出願人 株式会社ミツトヨ
公開番号 特開2011-112522
公開日 2011/6/9
登録番号 特許第5432680号
特許権者 株式会社ミツトヨ
発明の名称 斜入射干渉計
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 斜入射干渉計
目的 高度な技術や、高価なレーザ光源を要することなく、干渉縞感度を変更することができる斜入射干渉計を提供する。
効果 高度な技術や、高価なレーザ光源を要することなく、干渉縞感度を変更することができる。
技術概要
レーザ光を出射するレーザ光源と、前記レーザ光を参照光、及び測定光に分離するとともに、前記測定光を被測定面に対して斜めに出射する分離手段と、前記参照光、及び前記被測定面にて反射される前記測定光を合成して干渉光とする合成手段とを備え、前記干渉光に基づいて前記被測定面の形状を測定する斜入射干渉計であって、
前記分離手段、及び前記被測定面の間に配設され、前記測定光を反射する第1反射鏡と、
前記被測定面、及び前記合成手段の間に配設され、前記測定光を反射する第2反射鏡と、を備え、
前記レーザ光源は、前記レーザ光の波長を変更できる波長可変レーザ光源とされ、
前記分離手段は、前記レーザ光の波長に応じて前記測定光の出射角度を変更することを特徴とする斜入射干渉計。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社ミツトヨ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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