斜入射干渉計

開放特許情報番号
L2022001548
開放特許情報登録日
2022/10/12
最新更新日
2022/10/12

基本情報

出願番号 特願2010-107076
出願日 2010/5/7
出願人 株式会社ミツトヨ
公開番号 特開2011-237206
公開日 2011/11/24
登録番号 特許第5600031号
特許権者 株式会社ミツトヨ
発明の名称 斜入射干渉計
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 斜入射干渉計
目的 測定光および参照光の光軸を容易に一致させることが可能な斜入射干渉計を提供する。
効果 記憶部に記憶された各スポット光をディスプレイなどに出力することで、その位置を確実に把握することができ、より容易に、かつ精度良く測定光および参照光の光軸を合わせる位置調整を実施することができる。
また、各スポット光を一致させることで、より容易に、かつ精度良く測定光および参照光の光軸を合わせる位置調整を実施することができる。
技術概要
光を射出する光源と、
前記光を平行光にする光平行化部と、
前記平行光を、測定光および参照光に分離するとともに、前記測定光を被測定面に対して斜めに射出する光分離部と、
前記参照光、および前記被測定面で反射された前記測定光を合成して干渉光とする光合成部と、
前記干渉光を検出する検出部と、
前記光源から前記光分離部までの前記光の光路内に設けられるとともに、前記光の光断面サイズよりも小さいサイズの光通過孔を有し、この光通過孔でのみ前記光を通過させるスポット形成部と、を具備し、
前記スポット形成部は、前記光通過孔の口径寸法を調整可能な絞りである
ことを特徴とする斜入射干渉計。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社ミツトヨ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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