斜入射干渉計
- 開放特許情報番号
- L2022001547
- 開放特許情報登録日
- 2022/10/12
- 最新更新日
- 2022/10/12
基本情報
| 出願番号 | 特願2011-140822 |
|---|---|
| 出願日 | 2011/6/24 |
| 出願人 | 株式会社ミツトヨ |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2013/1/10 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 株式会社ミツトヨ |
| 発明の名称 | 斜入射干渉計 |
| 技術分野 | 情報・通信 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 斜入射干渉計 |
| 目的 | 測定範囲を拡大できるとともに機器の簡略化が可能な斜入射干渉計を提供する。 |
| 効果 | 測定光学系の光源を共用するとともに、補助受光部は測定光学系の要素を共用することができ、これにより機器の簡略化が可能である。 |
技術概要) |
干渉可能な原光を発生する光源と、
光源からの原光を測定光と参照光とに分割する光束分割部と、 測定光を被測定物の被測定面に対して斜めに照射する照射部と、 被測定面で反射された測定光と参照光とを合成する光束合成部と、 光束合成部で合成された光束を受光する受光部と、を有する斜入射干渉計において、 光源、光束分割部、照射部、光束合成部および受光部が設置された干渉計本体と、 被測定物を保持する基台と、 基台に設置されかつ干渉計本体を支持するとともに、干渉計本体を被測定物に沿って移動可能な移動機構と、 基台に固定されかつ移動機構による干渉計本体の移動軸線の延長上に配置された補助反射鏡と、 干渉計本体に設置されかつ光源からの原光から補助光を分割して補助反射鏡に照射する補助光束分割部と、 干渉計本体に設置されかつ補助反射鏡で反射された補助光を受光する補助受光部と、を有し、 補助受光部は、補助反射鏡からの補助光を集光するレンズと、レンズ の焦点位置に配置された平面受光素子と、を有することを特徴とする斜入射干渉計。 |
| 実施実績 | 【試作】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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