塗布装置、塗布方法、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法

開放特許情報番号
L2022001523
開放特許情報登録日
2022/9/28
最新更新日
2022/9/28

基本情報

出願番号 特願2014-219740
出願日 2014/10/28
出願人 芝浦メカトロニクス株式会社
公開番号 特開2015-127048
公開日 2015/7/9
登録番号 特許第6279450号
特許権者 芝浦メカトロニクス株式会社
発明の名称 塗布装置、塗布方法、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 塗布装置、塗布方法、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法
目的 接着剤の塗布厚を、複数のセンサを用いて効率良く且つ正確に検出しながら接着剤を塗布できる塗布装置、塗布方法を提供し、さらに、高い貼り合せ品質の表示装置用部材を高い効率で製造する製造装置及び製造方法を提供する。
効果 接着剤の塗布厚を、複数のセンサを用いて効率良く且つ正確に検出しながら接着剤を塗布できる。
技術概要
ワークに接着剤を塗布する塗布ノズルと、
塗布ノズルによる塗布対象となるワークを支持しながら、塗布ノズルに対して相対移動するステージと、
ステージに支持されたワークの接着剤を塗布する面に対向して設けられ、距離を検出するセンサと、
を有し、
距離を検出するセンサは、
ステージが塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布方向において、塗布ノズルの下流側に配置され、センサからステージに設けられた校正部までの距離及びワークの表面までの距離を検出する第1のセンサと、
ステージが塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布方向において、塗布ノズルの上流側に配置され、センサからステージに設けられた、第1のセンサと共通の校正部までの距離及びワークに塗布された接着剤の表面までの距離を検出する第2のセンサと、
を有し、
第1のセンサにより検出された校正部までの距離及びワークの表面までの距離と、第2のセンサにより検出された校正部までの距離及び接着剤の表面までの距離とに基づいて、接着剤の塗布厚を検出する塗布厚検出部を有することを特徴とする塗布
装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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