逆光電子分光装置

基本情報

出願番号	特願2016-523526
出願日	2015/5/27
出願人	国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号	WO2015/182641
公開日	2015/12/3
登録番号	特許第6324501号
特許権者	国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称	逆光電子分光装置
技術分野	情報・通信、電気・電子
機能	機械・部品の製造
適用製品	逆光電子分光装置
目的	取り扱いが容易な低コストの逆光電子分光装置を提供する。
効果	価電子準位と空準位の正確な測定を容易に行うことができ、例えば有機半導体を利用したデバイスの開発を促進することができる。
技術概要	試料に電子線を照射し、試料内の電子が空準位に緩和するときに発生する光を検出する逆光電子分光装置であって、試料に照射する電子を発生させる電子発生部と、試料により発生した光のうち、特定の波長を有する光を選択する波長選択部と、波長選択部により選択された光を検出する光検出器と、試料と光検出器との間に配置された集光光学系とを備え、電子発生部は、熱電子放出材料として酸化イットリウムを含むことを特徴とする逆光電子分光装置。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立研究開発法人科学技術振興機構