多焦点分光計測装置、及び多焦点分光計測装置用光学系

開放特許情報番号
L2022001439
開放特許情報登録日
2022/9/9
最新更新日
2022/9/9

基本情報

出願番号 特願2016-572194
出願日 2016/1/29
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号 WO2016/121946
公開日 2016/8/4
登録番号 特許第6622723号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 多焦点分光計測装置、及び多焦点分光計測装置用光学系
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 多焦点分光計測装置、及び多焦点分光計測装置用光学系
目的 倍率の制限を受けることなく、高い感度で多試料同時計測を行うことができる多焦点分光計測装置、及び多焦点分光計測装置用光学系を提供する。
効果 倍率の制限を受けることなく、高い感度で多試料又は大きい試料を同時に計測することができる多焦点分光計測装置が得られる。
技術概要
試料配置部に配置された試料における所定の複数の観測領域から発せられる信号光を分光器に導入することにより分光する装置であって、
前記複数の観測領域の各々に光学的に相対する位置に1個ずつ設けられた複数の対物集光部と、
前記複数の対物集光部の各々に対応して1個ずつ設けられた、対応する対物集光部を通過した信号光を前記分光器に入力する分光器入力部と、
前記複数の対物集光部の各々に対応して1個ずつ、前記分光器入力部との間に設けられた分光器側集光部と
を備え、
前記分光器側集光部側から前記対物集光部に入射する平行光線が該対物集光部を通過して焦点を結ぶ位置に、該対物集光部と光学的に相対する前記観測領域内の点が存在し、
前記信号光が前記分光器側集光部を通過して焦点を結ぶ位置に、該分光器側集光部に対応する分光器入力部が存在し、
前記対物集光部と前記分光器側集光部の間の光が平行光線になるように該対物集光部及び該分光器側集光部が配置されている
ことを特徴とする多焦点分光計測装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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