ＡｌＮ分極反転構造の製造方法

基本情報

出願番号	特願2019-101995
出願日	2019/5/31
出願人	国立大学法人山口大学
公開番号	特開2020-197562
公開日	2020/12/10
登録番号	特許第7228240号
特許権者	国立大学法人山口大学
発明の名称	ＡｌＮ分極反転構造の製造方法
技術分野	情報・通信、無機材料、金属材料
機能	材料・素材の製造
適用製品	ＡｌＮ分極反転構造の製造方法
目的	歩留まりが高いＡｌＮ分極反転構造の製造方法を提供する。
効果	厚さ方向に分極した第１ＡｌＮ層上にＡｌＮを結晶成長させて第１ＡｌＮ層とは分極が反転した第２ＡｌＮ層を形成するので、第１及び第２ＡｌＮ層間の全面が概ね一様に接合された構造となり、そのため高い歩留まりを得ることができる。
技術概要	厚さ方向に分極した第１ＡｌＮ層の表面を、Ａｌ源ガス及びＮ源ガスが流通する雰囲気に曝し、前記第１ＡｌＮ層上にＡｌＮを結晶成長させて前記第１ＡｌＮ層とは分極が反転した第２ＡｌＮ層を形成するＡｌＮ分極反転構造の製造方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	有限会社山口ティー・エル・オー