磁気力顕微鏡用探針の評価装置および評価方法、ならびに磁気力顕微鏡および磁気力顕微鏡の制御用磁場調整方法
- 開放特許情報番号
- L2022001058
- 開放特許情報登録日
- 2022/7/13
- 最新更新日
- 2022/7/13
基本情報
| 出願番号 | 特願2016-523490 |
|---|---|
| 出願日 | 2015/5/25 |
| 出願人 | 国立大学法人秋田大学 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2015/12/3 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 国立大学法人秋田大学 |
| 発明の名称 | 磁気力顕微鏡用探針の評価装置および評価方法、ならびに磁気力顕微鏡および磁気力顕微鏡の制御用磁場調整方法 |
| 技術分野 | 情報・通信 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 磁気力顕微鏡および磁気力顕微鏡の制御用磁場調整方法 |
| 目的 | ＭＦＭに使用される探針の特性を評価できる評価技術を提供することにあり、さらに、該評価技術の標準を提供する。
また、試料が発生する直流磁場が大きくてもその測定ができる、直流磁場測定用の磁気力顕微鏡、および、磁気力顕微鏡の制御用磁場調整方法を提供する。 |
| 効果 | 交流が印加されるＭＦＭ用の探針（具体的には、ハード磁性探針、ソフト磁性探針、常磁性探針、超常磁性探針、反磁性探針）の評価に際して、励振させた前記探針に強度が変化した（通常、段階的に変化した）交流磁場を印加し、探針の振動から得られるスペクトルに基づき当該探針の特性を評価することができる。
試料の直流磁場（試料直流磁場）を検出する磁気力顕微鏡において、制御用直流磁場および／または交流磁場の強度をソフト磁性探針が飽和しない適正な値に調整することができる。 |
技術概要) |
試料から発生する直流磁場または交流磁場を測定する磁気力顕微鏡用の探針の特性評価に使用される装置であって、
前記探針を励振させる探針励振部と、 交流磁場を発生し前記探針に当該交流磁場を印加する交流磁場発生部と、 前記交流磁場の強度が変化するように前記交流磁場発生部を制御する交流磁場制御部と、 前記探針の振動を検出し振動検出信号を生成する探針振動検出部と、 前記探針振動検出部により生成された振動検出信号を取得し、前記交流磁場の強度に対応する前記振動検出信号のスペクトルを測定するスペクトル測定部と、 前記スペクトル測定部により測定されたスペクトルに現われた２次のサイドバンドの強度を抽出する、または前記スペクトル測定部により測定されたスペクトルに現われた１次および２次のサイドバンドの強度を抽出する、ＳＢＩ抽出部と、 前記ＳＢＩ抽出部によって抽出されたサイドバンドの強度の、前記交流磁場の強度に対する変化を測定するＳＢＩ変化測定部と、 前記ＳＢＩ変化測定部により測定された前記変化に基づいて前記探針の特性を評価する評価結果出力部と を備える、磁気力顕微鏡用探針の評価装置。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
|---|---|
その他の情報
| 関連特許 |
|
|---|