電気力／磁気力顕微鏡および電場／磁場同時測定方法
- 開放特許情報番号
- L2022001057
- 開放特許情報登録日
- 2022/7/13
- 最新更新日
- 2022/7/13
基本情報
| 出願番号 | 特願2015-560054 |
|---|---|
| 出願日 | 2015/1/30 |
| 出願人 | 国立大学法人秋田大学 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2015/8/6 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 国立大学法人秋田大学 |
| 発明の名称 | 電気力／磁気力顕微鏡および電場／磁場同時測定方法 |
| 技術分野 | 情報・通信 |
| 機能 | 機械・部品の製造、検査・検出 |
| 適用製品 | 電気力／磁気力顕微鏡および電場／磁場同時測定方法 |
| 目的 | 試料から発生する電場と磁場とを同時に測定することができる電気力／磁気力顕微鏡および電場／磁場同時測定方法を提供する。 |
| 効果 | 試料の表面の電場と磁場とを同時に測定することができる。 |
技術概要) |
励振している探針部材の先端に設けた導電性のソフト磁性探針に周波数が異なる交流電場と交流磁場とを印加し、ソフト磁性探針により試料を走査し、探針部材の振動を検出することで、試料から発生する電場と磁場とを同時に測定する電気力／磁気力顕微鏡であって、
探針部材と、 探針部材を励振させる探針励振部と、 交流電場を発生し当該交流電場をソフト磁性探針に印加する交流電場印加部と、 交流磁場を発生し当該交流磁場をソフト磁性探針に印加する交流磁場印加部と、 交流電場印加部を駆動する交流電場駆動部と、 交流磁場印加部を駆動する交流磁場駆動部と、 探針部材の振動を検出し、振動検出信号を生成する探針振動検出部と、 ソフト磁性探針により試料を走査するために、探針部材を空間駆動する探針走査部と、 振動検出信号を取得し、試料とソフト磁性探針との間に生じた交流電気力および交流磁気力を復調する復調部と、 復調部により復調された交流電気力を用いて、試料から発生する電場 を測定する電場測定部と、 復調部により復調された交流磁気力を用いて、試料から発生する磁場を測定する磁場測定部と、 を備えたことを特徴とする電気力／磁気力顕微鏡。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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