| 出願番号 |
特願2005-348650 |
| 出願日 |
2005/12/2 |
| 出願人 |
国立大学法人東北大学 |
| 公開番号 |
特開2007-155418 |
| 公開日 |
2007/6/21 |
| 登録番号 |
特許第5130511号 |
| 特許権者 |
国立大学法人東北大学 |
| 発明の名称 |
干渉縞式膜厚計及び膜厚計測方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
ナノメートル膜厚計装置 |
| 目的 |
２種類の半導体レーザーを光源として、それら各々の光を干渉用鏡と段差のついた試料基板との間で干渉縞を生じさせる。干渉縞は干渉縞作成具を用いて微調整を行う。 |
| 効果 |
本案のナノメートル膜厚計装置は、2種類の半導体レーザーを光源として、それら各々の光を干渉用鏡と段差のついた試料基板との間で干渉縞を生じさせる。干渉縞は干渉縞作成具を用いて微調整を行う。 |
技術概要
 |
波長の異なる二種類以上のレーザー光源と、該レーザー光を透過させる回転している摺りガラスと、前記レーザー光を入射する、干渉縞調整テーブルと干渉用鏡の間に測定試料を挟みこんだ構造の試料台と、干渉縞を拡大観察する顕微鏡と、顕微鏡像を画像としてパーソナルコンピュータに取り込むためのＣＣＤカメラと、取り込んだ画像から所定のプログラムで膜厚を計算するパーソナルコンピュータと、からなることを特徴とする干渉縞式膜厚計。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)