メンブレンデバイス及びその製造方法

開放特許情報番号
L2022000915
開放特許情報登録日
2022/6/15
最新更新日
2022/6/15

基本情報

出願番号 特願2020-055359
出願日 2020/3/26
出願人 国立大学法人東京工業大学
公開番号 特開2021-154413
公開日 2021/10/7
発明の名称 メンブレンデバイス及びその製造方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 メンブレンデバイス及びその製造方法
目的 製造コストが低いメンブレンデバイス及びその製造方法を提供する。
効果 メンブレン層のシリコン基板との反対側にはシリコン層及びそのマスク層(有機保持層)を設ける必要がない。しかも、メンブレン有効領域は等方性ウェットエッチングではなく異方性ウェットエッチングによって決定されるので小さい。従って、製造コストを低減できる。
技術概要
第1、第2の面を有し、前記第1の面から前記第2の面へ向って狭まっていく傾斜開口を有するシリコン基板と、
前記シリコン基板の前記傾斜開口の前記第2の面側を塞ぐように設けられたメンブレン層と、
前記メンブレン層の前記シリコン基板と反対側にあって前記傾斜開口を囲むように設けられた樹脂ブロックと
を具備するメンブレンデバイス。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2022 INPIT