分光測定装置及び分光測定ユニット

開放特許情報番号
L2022000698
開放特許情報登録日
2022/5/11
最新更新日
2022/5/11

基本情報

出願番号 特願2018-142832
出願日 2018/7/30
出願人 国立大学法人 香川大学
公開番号 特開2020-020606
公開日 2020/2/6
発明の名称 分光測定装置及び分光測定ユニット
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 測定対象物の分光特性を利用して該測定対象物の物性を定性的又は定量的に測定する技術
目的 装置を大きくすることなく、正確で且つ高波長分解能の分光特性を測定できるようにする。
効果 平行光束化部と光分割部が、それぞれに光軸が一致するように一体的に構成されているため、正確で且つ高波長分解能の分光特性を測定でき、しかも干渉光学系を小形化でき、さらには、装置全体を小形化することができる。
技術概要
a) 受光面を有し、該受光面上の光の強度分布を検出する検出器と、
b) 測定対象物の測定点から発せられた光を平行光束にする平行光束化部と、前記平行光束を第1光束と第2光束に分割し、該第1光束と該第2光束の間に光路長差を付与しつつ前記受光面に向けて出射し、前記第1光束と前記第2光束が少なくとも一部において互いに重なるように該受光面に入射させる光分割部とを有する干渉光学系と、
c) 前記第1光束と前記第2光束が重なった部分の前記受光面の光の強度分布に基づき前記測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を備え、
前記平行光束化部と前記光分割部とが、それらの光軸が一致するように一体的に構成されていることを特徴とする分光測定装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
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