分光測定装置

開放特許情報番号
L2022000694
開放特許情報登録日
2022/5/11
最新更新日
2022/5/11

基本情報

出願番号 特願2017-527514
出願日 2016/7/8
出願人 国立大学法人 香川大学
公開番号 WO2017/007024
公開日 2017/1/12
登録番号 特許第6732339号
特許権者 国立大学法人 香川大学
発明の名称 分光測定装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 測定試料を透過した光や測定試料面で反射した光の分光特性を測定する技術
目的 鮮明なインターフェログラムと高精度な分光特性を取得することができる分光測定技術の提供。
効果 鮮明なインターフェログラムと高精度な分光特性の両方を取得することができる。
技術概要
被測定物の測定領域内に位置する複数の測定点から発せられた測定光を所定方向2つに分割して第1及び第2測定光を形成する分割光学系と、
第1及び第2測定光の間に、第1軸方向と直交する第2軸方向に沿って連続的に変化する光路長差を付与する光路長差付与手段と、
連続的に変化する光路長差が付与された第1測定光及び第2測定光を第1軸方向に集光させて結像面上に直線状の干渉光を形成する結像光学系と、
結像面上に第2軸方向に所定の周期で配置された複数の画素を有する、干渉光の強度を検出する干渉光検出部と、
干渉光検出部で検出された干渉光の光強度に基づき、被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と、
被測定物と分割光学系の間に配置された、該分割光学系と共通の共役面を有するとともに、該共役面に測定点からの測定光を結像する共役面結像光学系と、
共役面に配置された、第1軸方向に周期的に並ぶ透光部と遮光部とを有する振幅型回折格子と、
測定光が振幅型回折格子を通過した後の光を第2軸方向にのみ拡散させる拡散光学系と
を備えることを特徴とする分光測定装置。
実施実績 【有】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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