出願番号 |
特願2020-545752 |
出願日 |
2020/4/27 |
出願人 |
国立大学法人東北大学 |
公開番号 |
WO2020/241153 |
公開日 |
2020/12/3 |
登録番号 |
特許第6795165号 |
特許権者 |
国立大学法人東北大学 |
発明の名称 |
走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法 |
技術分野 |
情報・通信、機械・加工 |
機能 |
機械・部品の製造 |
適用製品 |
走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法 |
目的 |
トーションバーの酸化や水酸化を防ぐことができ、それによるトーションバーの劣化を抑えることができる走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法を提供する。 |
効果 |
トーションバーの酸化や水酸化を防ぐことができ、それによるトーションバーの劣化を抑えることができる走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法を提供することができる。 |
技術概要
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ミラー部と、
前記ミラー部を支持するよう設けられ、表面がALD層で覆われたトーションバーとを有し、
前記トーションバーに捩れ力を与えることにより、前記トーションバーに沿った軸を中心として前記ミラー部を回動可能に構成されていることを
特徴とする走査ミラー。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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