走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法

開放特許情報番号
L2022000639
開放特許情報登録日
2022/4/27
最新更新日
2022/4/27

基本情報

出願番号 特願2020-545752
出願日 2020/4/27
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 WO2020/241153
公開日 2020/12/3
登録番号 特許第6795165号
特許権者 国立大学法人東北大学
発明の名称 走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法
技術分野 情報・通信、機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法
目的 トーションバーの酸化や水酸化を防ぐことができ、それによるトーションバーの劣化を抑えることができる走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法を提供する。
効果 トーションバーの酸化や水酸化を防ぐことができ、それによるトーションバーの劣化を抑えることができる走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法を提供することができる。
技術概要
ミラー部と、
前記ミラー部を支持するよう設けられ、表面がALD層で覆われたトーションバーとを有し、
前記トーションバーに捩れ力を与えることにより、前記トーションバーに沿った軸を中心として前記ミラー部を回動可能に構成されていることを
特徴とする走査ミラー。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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