レーザ装置及びこれに使用可能な装置

開放特許情報番号

L2022000600

開放特許情報登録日

2022/4/21

最新更新日

2022/4/21

基本情報

出願番号	特願2015-125244
出願日	2015/6/23
出願人	国立研究開発法人理化学研究所
公開番号	特開2017-011105
公開日	2017/1/12
登録番号	特許第6565079号
特許権者	国立研究開発法人理化学研究所
発明の名称	レーザ装置及びこれに使用可能な装置
技術分野	電気・電子
機能	機械・部品の製造
適用製品	レーザ装置及びこれに使用可能な装置
目的	低周波数のレーザパルス光を出力するレーザ装置において、非特許文献１とは異なる手段により、出力レーザパルス光のＣＥＰ変動を補償できるレーザ装置を提供する。 また、出力レーザパルス光のＣＥＰ変動を補償できるレーザ装置に使用可能な参照光生成装置、ＣＥＰ測定装置、および補償装置を提供する。
効果	出力用パルス光（増幅パルス光）の第２周波数ではなく、これよりも高い中間周波数の参照パルス光のＣＥＰに基づいて調整がなされるので、出力用パルス光（増幅パルス光）の周波数が低くても、より高い周波数の参照パルス光に基づいて、出力用パルス光のＣＥＰの変動を補償することができる。 また、レーザ装置から出力されるレーザパルス光と同じ経路を通ったものである。すなわち、参照パルス光は、第２増幅装置内を通過したものである。よって、第２増幅装置に要因があるＣＥＰの変動も補償することができる。
技術概要	パルス光を生成する発振器と、 発振器からのパルス光を増幅することにより、第１周波数で繰り返されるパルス光の第１パルス列を生成する第１増幅装置と、 第１周波数よりも低い第２周波数で第１パルス列に対して増幅を行うことにより第１パルス列を第２パルス列に変える第２増幅装置とを備え、 第２パルス列は、第２増幅装置により増幅され第２周波数で繰り返される相対的に低頻度の増幅パルス光と、低頻度の増幅パルス光よりも強度が低く相対的に高頻度の非増幅パルス光とが混在した、第１周波数で繰り返されるパルス光のパルス列であり、 第１周波数よりも低く第２周波数よりも高い中間周波数で第２パルス列から参照パルス光を抽出することにより、中間周波数で繰り返される該参照パルス光の参照パルス列を生成する参照光生成装置と、 参照パルス列が入射され参照パルス列の参照パルス光のＣＥＰを測定するＣＥＰ測定器と、 測定されたＣＥＰに基づいて、前記増幅パルス光のＣＥＰの変動を補償する調整を行う調整装置を備える、ことを特徴とするレーザ装置。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【可】
特許権実施許諾	【可】

登録者情報

登録者名称	国立研究開発法人理化学研究所

その他の情報

関連特許	国内 【無】 国外 【無】