波面歪み量測定装置、波面補償装置、光学測定装置、および方法

開放特許情報番号
L2022000597
開放特許情報登録日
2022/4/21
最新更新日
2024/5/22

基本情報

出願番号 特願2014-266374
出願日 2014/12/26
出願人 国立研究開発法人理化学研究所
公開番号 特開2016-125895
公開日 2016/7/11
登録番号 特許第6379031号
特許権者 国立研究開発法人理化学研究所
発明の名称 波面歪み量測定装置、波面補償装置、光学測定装置、および方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 波面歪み量の測定および波面歪みの補償
目的 波面歪み量の測定および補償を正確かつ高速に行える技術を提供する。
効果 新規な手法により波面歪み量の測定を高速かつ精度良く行うことができる。この波面歪み量の測定方法は、光学測定装置に適用した場合に、波面歪み量測定のために新たな光学系を追加する必要がない。また、波面歪み量の測定時と対象物の測定時において光が同一の経路を通るため、測定時に生じる波面歪みを正確に測定することができる。
技術概要
レンズの瞳面もしくは当該瞳面と共役な位置に配置された波面変調器と、
前記波面変調器および前記レンズを介して入射する光の強度分布を検出する光検出器と、
前記波面変調器の位相変調量を制御する制御手段と、
前記波面変調器の局所領域に与える位相変調量を変化させた際に前記光検出器から得られる強度分布に基づいて、前記局所領域を通過する光と前記局所領域以外を通過する光の干渉成分を取得する干渉成分取得手段と、
前記干渉成分をフーリエ変換し、フーリエ変換された干渉成分の位相成分を波面歪み量として算出する波面歪み量算出手段と、
を備える、波面歪み量測定装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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