目的
従来よりも検出感度を向上させた静電容量型センサを提供する。
効果
従来よりも検出感度を向上させた静電容量型センサを提供することが可能となる。
技術概要
検出対象となる動作がなされたか否かに応じて静電容量値が変化する静電容量型センサ部であって、静電容量形成部、抵抗及びコイルを含む静電容量型センサ部と、所定の周波数で、前記静電容量形成部、前記抵抗及び前記コイルに交流電圧を印加する高周波電源とを含み、前記高周波電源と、前記静電容量形成部と、前記抵抗と、前記コイルとが並列接続されることにより共振回路を構成した静電容量型センサにおいて、
前記静電容量型センサのインピーダンス、レジスタンス及びリアクタンスを含むパラメータの変化量を測定する測定部と、
前記測定部が測定した前記パラメータの測定値の変化量に基づいて、前記検出対象となる動作がなされたか否かを判定する処理部とを備え、
前記高周波電源は、前記共振回路の共振周波数近傍において、前記リアクタンスの変化量の絶対値が最大となる周波数を測定周波数とする前記交流電圧を印加し、
前記処理部は、前記測定周波数において前記パラメータのいずれかの測定値が所定の閾値を超えているか否かを判定して、前記動作がなされたか否かを判定することを特徴とする静電容量型センサ。
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