| 出願番号 |
特願2018-066298 |
| 出願日 |
2018/3/30 |
| 出願人 |
鹿児島県 |
| 公開番号 |
特開2018-172794 |
| 公開日 |
2018/11/8 |
| 登録番号 |
特許第6707740号 |
| 特許権者 |
鹿児島県 |
| 発明の名称 |
ターゲットの製造方法および薄膜の製造方法 |
| 技術分野 |
金属材料、化学・薬品、無機材料 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
ミネラル成分を含有する薄膜とその薄膜の製造方法 |
| 目的 |
原料の調達が容易であり加工工程が少なく安価なターゲットの要求に対応可能なターゲット、そのターゲットをミネラル源とする薄膜とその薄膜を安価に製造する方法を提供する。 |
| 効果 |
天然岩石を原料としたターゲットとすることにより、安定した成膜が
可能な、ミネラル成分を含有するターゲットを安価に提供でき、更に、大型や円筒形状など複雑な形状のターゲットの要求に対応することができる。 |
技術概要
 |
物理気相堆積法に用いるスパッタリング用のターゲットであって、熱伝導率が、０．７Ｗ／ｍＫ以上、１０Ｗ／ｍＫ以下である火山噴出物に由来する天然岩石である一塊の溶結凝灰岩または溶岩を任意の形状に削り出し加工し表面の空隙率が二値化評価で２５％以下となるように形成した石材のみで構成したことを特徴とするターゲットの製造方法。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【有】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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