適用製品
ミネラル成分を含有する薄膜とその薄膜の製造方法
目的
原料の調達が容易であり加工工程が少なく安価なターゲットの要求に対応可能なターゲット、そのターゲットをミネラル源とする薄膜とその薄膜を安価に製造する方法を提供する。
効果
天然岩石を原料としたターゲットとすることにより、安定した成膜が
可能な、ミネラル成分を含有するターゲットを安価に提供でき、更に、大型や円筒形状など複雑な形状のターゲットの要求に対応することができる。
技術概要
物理気相堆積法に用いるスパッタリング用のターゲットであって、熱伝導率が、０．７Ｗ／ｍＫ以上、１０Ｗ／ｍＫ以下である火山噴出物に由来する天然岩石である一塊の溶結凝灰岩または溶岩を任意の形状に削り出し加工し表面の空隙率が二値化評価で２５％以下となるように形成した石材のみで構成したことを特徴とするターゲットの製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
