バイプリズム装置、及び荷電粒子線装置
- 開放特許情報番号
- L2022000348
- 開放特許情報登録日
- 2022/3/4
- 最新更新日
- 2022/3/4
基本情報
| 出願番号 | 特願2015-251027 |
|---|---|
| 出願日 | 2015/12/24 |
| 出願人 | 国立研究開発法人理化学研究所 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2017/6/29 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 国立研究開発法人理化学研究所 |
| 発明の名称 | バイプリズム装置、及び荷電粒子線装置 |
| 技術分野 | 電気・電子 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 荷電粒子線技術 |
| 目的 | コンタミネーションが付着した部分での局所チャーアップを防止することが可能なバイプリズム装置、及び荷電粒子線装置を提供する。 |
| 効果 | コンタミネーションの付着による局所チャージアップを消失することができる。また、局所チャージアップにより使用が不可となったフィラメントの再利用が可能となる。さらに、金属性フィラメントを用いた場合には、荷電粒子線の照射によるはがれなどの損傷もないため、バイプリズム装置の稼働期間を著しく延長することが可能となる。 |
技術概要) |
バイプリズム装置であって、
荷電粒子線装置の光軸に直交するフィラメントと、 前記光軸と前記フィラメントの両方に直交する軸を法線とする平面を持ち、前記フィラメントを挟んで配置される一対の平行平板電極と、 前記フィラメントの両端がそれぞれ固定され、互いに絶縁部で絶縁された第１の座電極と第２の座電極を有し、前記光軸と平行な軸を回転軸として回転するフィラメントホルダーと、 電源に接続される第１の接触電極と、 第２の接触電極と、を備え、 前記フィラメントホルダーの前記回転により、前記第１の座電極と前記第２の座電極の少なくともどちらか１つが前記第１の接触電極と接触する状態、或いは前記第１の座電極が前記第１の接触電極と接触し、前記第２の座電極が前記第２の接触電極と接触する状態を取りえ、 前記第１の接触電極と前記第２の接触電極が前記フィラメントの中点となす小なる側の角度は、前記第１の座電極と前記第２の座電極の間の２つの前記絶縁部が前記フィラメントの中点となす小なる側の角度よりも大きい、 ことを特徴とするバイプリズム装置。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【可】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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