ナノ突起構造体及びその製造方法

開放特許情報番号
L2022000109
開放特許情報登録日
2022/1/24
最新更新日
2022/1/24

基本情報

出願番号 特願2007-066731
出願日 2007/3/15
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2008-221439
公開日 2008/9/25
登録番号 特許第5028620号
特許権者 国立大学法人東北大学
発明の名称 ナノ突起構造体及びその製造方法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 ナノ突起構造体及びその製造方法
目的 広範な用途が期待できるナノ突起構造体及びその製造方法を提供する。
効果 屈曲状または湾曲状または螺旋コイル状に形成されているので、この特異な形状により、半導体、SQUID磁力計、各種センサーなどの電気的、磁気的用途、微小なコイルバネなどの機械的用途への応用が期待できる。
また、本発明のナノ突起構造体は、金属の表面にマイクロ・ナノ突起が文字や回路などの形状に選択的に形成されているので、各種のデバイス等への応用が期待できる。
技術概要
金属に低真空下で高エネルギービームが照射されることにより、高エネルギービームの照射方向に向かって成長されたナノ突起構造体であって、当該ナノ突起構造体は、高エネルギービームの照射方向が突起の成長途中に変更されることによって、屈曲状または湾曲状または螺旋コイル状に形成されていることを特徴とするナノ突起構造体。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
Copyright © 2022 INPIT