脈理を有する材料の漏洩弾性表面波速度と化学組成比および線膨張係数との関係を求める方法、およびその関係を使ったTiO2−SiO2ガラスのTiO2濃度測定方法および線膨張係数測定方法

開放特許情報番号
L2022000102
開放特許情報登録日
2022/1/24
最新更新日
2022/1/24

基本情報

出願番号 特願2005-263339
出願日 2005/9/12
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2007-078384
公開日 2007/3/29
登録番号 特許第4825972号
特許権者 国立大学法人東北大学
発明の名称 脈理を有する材料の漏洩弾性表面波速度と化学組成比および線膨張係数との関係を求める方法、およびその関係を使ったTiO2−SiO2ガラスのTiO2濃度測定方法および線膨張係数測定方法
技術分野 情報・通信
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 漏洩弾性表面波速度と化学組成比や線膨張係数との間の正確な関係を求める方法およびその関係を使ってTiO↓2−SiO↓2ガラスのTiO↓2濃度および線膨張係数を求める方法
目的 適切な試料の準備とLSAWの伝搬方向の選択、および正確な化学組成比の分析を行なうことにより、LSAW速度とTiO↓2濃度やCTEとの間の正確な関係を求める方法を与える。
効果 TiO↓2-SiO↓2ガラスに対して、LSAW速度と化学組成比やCTEとの間の正確な関係を求めることができるようになり、LSAW速度を用いた高精度な評価が行えるようになる。
技術概要
漏洩弾性表面波速度、以下LSAW速度と呼ぶ、と化学組成比および線膨張係数、以下CTEと呼ぶ、との間の関係を求める方法であり、
(a) 化学組成比の異なる少なくとも2つのガラスインゴットのそれぞれから、ガラスインゴットの脈理面に対して垂直な面で試料基板と、それに隣接してCTE測定試料板を切り出す工程と、
(b) 各上記試料基板の予め決めた領域に対して、上記脈理面と平行な方向に伝搬するLSAW速度の測定値を得る工程と、
(c) 各上記試料基板の上記予め決めた領域の化学組成比を測定する工程と、
(d) 各上記CTE測定試料板のCTEを測定する工程と、
(e) 測定した上記LSAW速度と上記化学組成比および上記CTEからLSAW速度の変化量に対する化学組成比の変化量およびCTEの変化量の関係を決定する工程、
とを含むことを特徴とするLSAW速度と化学組成比およびCTEとの間の関係を求める方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
Copyright © 2022 INPIT