機械電気変換素子、機械電気変換装置及びその製造方法

開放特許情報番号
L2022000066
開放特許情報登録日
2022/1/19
最新更新日
2022/1/19

基本情報

出願番号 特願2010-507250
出願日 2009/4/7
出願人 国立大学法人埼玉大学
公開番号 WO2009/125773
公開日 2009/10/15
登録番号 特許第5305304号
特許権者 国立大学法人埼玉大学
発明の名称 機械電気変換素子、機械電気変換装置及びその製造方法
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 材料・素材の製造
適用製品 機械的振動を電気信号に変換する機械電気変換素子、機械電気変換装置及びその製造方法
目的 柔軟で形状の自由度が高く、且つ、感度が高く、より強い音圧に耐えられ、しかも広い周波数帯域での使用可能な機械電気変換素子、機械電気変換装置及びその製造方法を提供する。
効果 柔軟で形状の自由度が高く、且つ、感度が高く、より強い音圧に耐えられ、しかも広い周波数帯域で機械的振動を電気信号に変換の可能なので、携帯電話、音響機器、ハイドロフォン,発電素子等の技術分野に利用可能である。
技術概要
無負荷時において平坦な振動面を有する振動電極と、
前記振動電極の下面に設けられた振動層絶縁層と、
前記振動電極に対向したエレクトレット層と、
前記エレクトレット層の下面に接した背面電極とを備え、
前記振動層絶縁層の下面及び前記エレクトレット層の上面の間に接触点となる複数の凸部を有し、前記複数の凸部を介して 前記振動層絶縁層の下面と前記エレクトレット層の上面とが接触することにより、前記振動層絶縁層と前記エレクトレット層との間に10nm〜100μmのマイクロギャップ部を定義し、前記複数の凸部による凹凸と負荷時の撓みを含めた前記振動電極の中心線平均粗さRaが、前記振動電極の前記下面と前記エレクトレット層の上面との間で定義される巨視的なギャップ幅の1/10以下であり、前記振動電極の撓みと前記マイクロギャップでの前記接触点の変形により、前記振動電極が振動することを特徴とする機械電気変換素子。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
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