| 出願番号 |
特願2016-238391 |
| 出願日 |
2016/12/8 |
| 出願人 |
日本放送協会 |
| 公開番号 |
特開2018-098238 |
| 公開日 |
2018/6/21 |
| 登録番号 |
特許第6890004号 |
| 特許権者 |
日本放送協会 |
| 発明の名称 |
固体撮像素子およびその製造方法 |
| 技術分野 |
電気・電子、情報・通信 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
光電変換膜に多結晶セレンを用いた固体撮像素子およびその製造方法 |
| 目的 |
セレン膜の表面に凹凸が生じても良好な特性のものを形成することができ、この光電変換膜を半導体加工技術で作製された信号読出回路と組み合わせても、クラック等の発生を抑制しつつ、感度を向上させ得る、固体撮像素子およびその製造方法を提供する。 |
| 効果 |
光電変換膜のｐ/ｎ接合が不完全となることがなく、透明電極が不均一となることがなく、光電変換部側の接続用電極と画素電極との接合が不均一となることがなく、クラックなどの発生を抑制しつつ、高感度な固体撮像素子を得ることができる。 |
技術概要
 |
光電変換部と、半導体技術を用いてなる信号読出回路部とが一体化されてなる固体撮像素子において、
光電変換部は、透光性基板上に、透明電極膜と、ｎ型層と、結晶セレンからなるp型層と、各画素に対応するように位置する接続用電極とがこの順に配設されてなるとともに、接続用電極との接合部および透明電極膜に対向する面を除き、ｎ型層およびｐ型層からなる光電変換膜が、この光電変換膜の研磨時における剥がれを防止する、保護膜として機能する絶縁体により当接して取り囲まれるように、かつ、各画素に対応するように絶縁体に穿設された開口部に埋め込まれた接続用電極が、一端側は光電変換膜と接合するように、他端側は開口部から研磨処理により平坦とされた先端面が微小量だけとび出るように、または、開口部の周囲の絶縁体表面と、研磨処理により面一となるように配されてなり、
信号読出回路部は、基板上に配された信号読出回路と、信号読出回路の各画素に対応する回路毎に設けられた画素電極を有する回路基板からなり、
光電変換部と信号読出回路部とを、接続用電極の各々と、各々の接続用電極に対応する画素電極が互いに接合することにより一体化されてなることを特徴とする固体撮像素子。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)