| 出願番号 |
特願2017-025300 |
| 出願日 |
2017/2/14 |
| 出願人 |
日本放送協会 |
| 公開番号 |
特開2017-152693 |
| 公開日 |
2017/8/31 |
| 登録番号 |
特許第6918511号 |
| 特許権者 |
日本放送協会 |
| 発明の名称 |
塗布型酸化物半導体、薄膜トランジスタ、表示装置および塗布型酸化物半導体の製造方法 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
塗布型酸化物半導体、その塗布型酸化物半導体を備えた薄膜トランジスタ、その薄膜トランジスタを備えた表示装置、および上記塗布型酸化物半導体の製造方法 |
| 目的 |
有機物等の残留量が高い塗布型酸化物半導体において、従来よりも大きい電子（ホール）移動度を得ることができるとともに、緻密な構造とすることができる塗布型酸化物半導体、薄膜トランジスタ、表示装置およびその塗布型酸化物半導体の製造方法を提供する。 |
| 効果 |
酸化物半導体の半導体特性、特に電子（またはホール）移動度を大幅に改善した塗布型酸化物半導体、薄膜トランジスタおよび表示装置を得ることができ、また、上記のような塗布型酸化物半導体が得られる、塗布型酸化物半導体の製造方法を得ることができる。 |
技術概要
 |
所定の酸化物半導体溶液を塗布、乾燥してなる酸化物半導体層内に水素が導入され、該水素が導入された該酸化物半導体層は、紫外線が照射された上で、酸化されてなることを特徴とする塗布型酸化物半導体。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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