ガスセンサ及びその使用方法

開放特許情報番号
L2021001447
開放特許情報登録日
2021/10/26
最新更新日
2021/10/26

基本情報

出願番号 特願2017-526396
出願日 2016/6/29
出願人 富士通株式会社
公開番号 WO2017/002854
公開日 2017/1/5
登録番号 特許第6687862号
特許権者 富士通株式会社
発明の名称 ガスセンサ及びその使用方法
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出
適用製品 ガスセンサ及びその使用方法
目的 アンモニア等のガスの検出感度を向上することができるガスセンサ及びその使用方法を提供する。
効果 適切なグラフェン膜、バリア膜及び半導体層が含まれるため、アンモニア等のガスを高感度で検出することができる。
技術概要
半導体層と、
前記半導体層上方に設けられたグラフェン膜と、
前記半導体層と前記グラフェン膜との間のバリア膜と、
前記グラフェン膜に接して電気的に接続された第1の電極と、
前記半導体層に接して電気的に接続された一対の第2の電極と、
前記グラフェン膜を覆い、前記グラフェン膜の表面の一部を露出する開口を有する保護膜と、
を有し、
前記第1の電極は、前記第1の電極にバイアス電圧を印加するバイアス電源が接続されており、
前記一対の第2の電極及び前記バイアス電源は、前記半導体層の前記一対の第2の電極間を流れる電流を検知する電流モニタリング装置が接続されており、
前記グラフェン膜は、前記開口から露出する部分が気体に接することを特徴とするガスセンサ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 富士通株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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