| 出願番号 |
特願2007-272020 |
| 出願日 |
2007/10/19 |
| 出願人 |
富士通株式会社 |
| 公開番号 |
特開2009-098084 |
| 公開日 |
2009/5/7 |
| 登録番号 |
特許第4973441号 |
| 特許権者 |
富士通株式会社 |
| 発明の名称 |
雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法 |
| 目的 |
湿度の影響を受けずに、雰囲気中の物質の濃度をリアル・タイムかつ高感度で測定する。 |
| 効果 |
簡便な装置構成により、湿度の影響を受けないで雰囲気中の物質の濃度をリアル・タイムかつ高感度で測定することが可能になる。 |
技術概要
 |
圧電体結晶を用いた物質感応センサ、前記物質感応センサの主面に設けたセンサ電極、及び、前記センサ電極に対して間隙を有して対向させた対向電極を少なくとも備え、前記センサ電極と前記対向電極との間に電位差を発生させる直流バイアス印加機構を設けるとともに、前記センサ電極と前記対向電極との間の空間に紫外線を照射することのできる位置に紫外線源を設けたことを特徴とする雰囲気分析装置。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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