分光分析装置

開放特許情報番号
L2021001042
開放特許情報登録日
2021/8/5
最新更新日
2021/8/5

基本情報

出願番号 特願2020-156885
出願日 2020/9/18
出願人 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
公開番号 特開2021-051074
公開日 2021/4/1
発明の名称 分光分析装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 分光分析装置
目的 白色のスペクトルをもつ照明光を用い、十分な空間分解能と高い利便性をもつ分光分析装置を得る。
効果 白色のスペクトルをもつ照明光を用い、十分な空間分解能と高い利便性をもつ分光分析装置を得ることができる。
技術概要
一定の波長領域で広がりを有する波長スペクトルをもつ白色光が照明光として用いられ、前記照明光を試料の表面の一領域に照射させる入射光学系と、前記照明光に起因して前記試料から出射した出射光の波長スペクトルを検出する検出部と、前記出射光を前記検出部に導く出射光学系と、を具備する分光分析装置であって、
前記入射光学系は、前記照明光を集束させる入射側第1ミラーを具備し、前記入射光を前記表面に対して90°よりも小さな入射角度で入射させ、
前記出射光学系は、前記照明光と前記出射光とが含まれる入射面内で、前記一領域を通る前記表面の法線に対して前記入射側第1ミラーと反対側に配置され、前記出射光を集束させる出射側第1ミラーを具備することを特徴とする分光分析装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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