六ホウ化ランタン膜及びその製造方法

開放特許情報番号
L2021001037
開放特許情報登録日
2021/8/6
最新更新日
2021/8/6

基本情報

出願番号 特願2019-043931
出願日 2019/3/11
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2020-148821
公開日 2020/9/17
発明の名称 六ホウ化ランタン膜及びその製造方法
技術分野 情報・通信、金属材料、化学・薬品
機能 材料・素材の製造
適用製品 プラズモン特性を有する六ホウ化ランタン膜及びその製造方法
目的 これまで報告されている貴金属や金属窒化物、導電性金属酸化物などよりも、さらに安定性の高く、損失の少ない良好なプラズモン特性を有する、高品質な金属六ホウ化物の膜を簡便に提供する。
効果 近赤外域以上の波長において、W、Mo、TiNよりも良好なプラズモン特性を有する上に、1000℃以上の高温でも使用できる良質なLaB6膜が与えられる。
技術概要
2回対称または4回対称の結晶対称性をもつ基板上に成長させた六ホウ化ランタン膜であって、連続し、無孔であって、膜の52%以上が(001)表面を持ち、表面粗さ(r.m.s.)の値が膜厚の10%以下である、プラズモン特性を有する六ホウ化ランタン膜。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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