成膜装置

開放特許情報番号
L2021001027
開放特許情報登録日
2021/8/4
最新更新日
2021/8/4

基本情報

出願番号 特願2019-015174
出願日 2019/1/31
出願人 国立大学法人京都大学
公開番号 特開2020-122193
公開日 2020/8/13
発明の名称 成膜装置
技術分野 金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 転動体に薄膜を形成する成膜装置
目的 転動体に均一な薄膜を形成することができる成膜装置を提供する。
効果 転動体に均一な薄膜を形成することができる成膜装置を提供することができる。
技術概要
転動体を収容する収容器と、
前記収容器に収容された前記転動体への成膜を行う成膜手段と、
を備えた成膜装置であって、
前記収容器は、
前記転動体を載置するための載置面と、
前記載置面に対し前記転動体が通過しない隙間を空けて前記載置面上に設けられ、前記転動体の前記載置面への追随を阻害する追随阻害手段と、
前記載置面を前記追随阻害手段に対し相対移動させる移動手段と、
を備えた、成膜装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 京都大学「産学連携情報プラットフォーム(フィロ)」をご紹介します。
産学連携の新たな取り組みなど、有益な情報を発信しています。

https://philo.saci.kyoto-u.ac.jp/

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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