| 出願番号 |
特願2009-057637 |
| 出願日 |
2009/3/11 |
| 出願人 |
株式会社ミクニ |
| 公開番号 |
特開2010-210468 |
| 公開日 |
2010/9/24 |
| 登録番号 |
特許第5144563号 |
| 特許権者 |
株式会社ミクニ |
| 発明の名称 |
水素センサ及びその製造方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
制御・ソフトウェア |
| 適用製品 |
水素センサ |
| 目的 |
ヒステリシス特性によるセンサ精度の低下を減少させる水素センサであって、熱ストレス等による割れなどの不具合が生じにくく、電極と検知膜との間で金属が相互拡散しない耐久性が高い水素センサを提供する。 |
| 効果 |
単層膜から構成され、別途の保護膜を有しない。そのため、構造が簡単で製造しやすい。また、ヒステリシス特性の改善によりセンサ精度の向上を図ることができる。 |
技術概要
 |
基板と、
前記基板の一面に積層してなる検知膜であって、ＴａＮからなるセラミックス層と、前記セラミックス層の厚さ方向にその軸心を配向させてセラミックス層内に分散してなる柱状のＰｄ粒子と、からなる検知膜と、
前記検知膜の表面に所定間隔離れて形成してなる１対の電極と、
を有する水素センサ。 |
| 実施実績 |
【試作】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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